易度智能MC100系列，是一款高性能低漂移量氣體質(zhì)量流量控制器，具有極低的溫度漂移和壓力漂移量，可以確保產(chǎn)品長期使用的穩(wěn)定性和可靠性，減少維護、調(diào)試、校準的頻率，降低客戶維護成本。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機軟件設定流量。

l 核心優(yōu)勢：低漂移量，高穩(wěn)定性和可靠性，抗氣源波動能力強

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實時顯示4種過程變量

l 內(nèi)置60多種氣體，自由切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計模式使用

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~550slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100kPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS316L

l 進出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 標定臺系統(tǒng)搭建中的流量控制設備

l 需要大范圍調(diào)整流量的流控系統(tǒng)或設備集成

l 簡化集成設備或?qū)υO備體積敏感的場景

l 需要調(diào)控比較大流量的實驗研究場合

MC100高性能低漂移量氣體質(zhì)量流量控制器在于具有高精度的溫度和壓力傳感器，確保產(chǎn)品具有極低的溫度和壓力漂移量，對于用戶來講，長期使用依然可以保證產(chǎn)品具有很高的準確度和重復性，確保用戶整機流量測控的穩(wěn)定性和可靠性，減少用戶維護成本。