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當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章

  • 2025

    2-18

    半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,MFC)的要求極為嚴(yán)苛,因其直接關(guān)系到芯片制造的良率、工藝穩(wěn)定性及設(shè)備安全性。1.高精度與穩(wěn)定性精度要求:半導(dǎo)體制造中氣體流量的微小偏差可能導(dǎo)致薄膜厚度不均或摻雜濃度異常,因此MFC的精度需達(dá)到±1.0%滿量程(F.S.)甚至更高(易度智能MFC精度可達(dá)到±0.5%S.P.)。重復(fù)性:重復(fù)性誤差不超過±0.2%F.S.,以確保多次工藝的穩(wěn)定輸出(易度智能MFC重復(fù)性可達(dá)...

  • 2025

    2-17

    當(dāng)我們研究氣體流量計(jì)和流量控制器時(shí),理解表壓、絕壓和大氣壓之間的關(guān)系是非常重要的。簡單的解釋一下它們的區(qū)別和在產(chǎn)品測(cè)量時(shí)的應(yīng)用。大氣壓(AtmosphericPressure)大氣壓是地球表面空氣對(duì)物體施加的壓力,它是由地球大氣的重力造成的。它的大小在不同的高度和天氣條件下會(huì)有所變化。在海平面,標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓是101.325kPa。大氣壓的作用是我們?nèi)粘I钪兴惺艿降摹翱諝鈮毫Α?,就像你站在地面上,身體周圍的大氣會(huì)對(duì)你施加一定的壓力。表壓(GaugePressure)表壓是指...

  • 2025

    2-13

    在半導(dǎo)體行業(yè)中,對(duì)質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高,以滿足精密制造的要求。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)的性能和參數(shù)需求高精度:半導(dǎo)體工藝對(duì)氣體流量控制要求很高,通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。小流量測(cè)量能力(如sccm,標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘)是關(guān)鍵,尤其是在沉積、刻蝕等工藝中??焖夙憫?yīng)時(shí)間:工藝氣體流量需要快速調(diào)整,響應(yīng)時(shí)間通常在毫秒級(jí)別,以確保工藝穩(wěn)定性。寬量程比:半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍,質(zhì)量流量計(jì)需要具備寬量程比(如100...

  • 2025

    2-12

    易度智能:以層流技術(shù)為核心的氣體流量控制專家在工業(yè)自動(dòng)化與精密制造領(lǐng)域,氣體流量控制的精度與可靠性是保障生產(chǎn)效能的關(guān)鍵要素。作為國內(nèi)專注氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)及流量計(jì)研發(fā)與生產(chǎn)的技術(shù)型企業(yè),易度公司以層流原理為基礎(chǔ),通過持續(xù)創(chuàng)新為半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域提供高性能解決方案,助力客戶實(shí)現(xiàn)精細(xì)化生產(chǎn)與高效能管理。一、企業(yè)優(yōu)勢(shì):專注技術(shù)深耕,推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步層流技術(shù)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量易度公司以層流原理為核心技術(shù)路徑,通過優(yōu)化流體動(dòng)力學(xué)模型與精密傳感技術(shù),確保氣體流...

  • 2025

    2-11

    高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)的正確安裝與調(diào)試方法對(duì)于確保其測(cè)量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。以下將詳細(xì)闡述這兩個(gè)過程的關(guān)鍵步驟和注意事項(xiàng)。一、正確安裝方法1.選擇合適的安裝位置流量計(jì)應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離震動(dòng)源和強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾的地方,以減少外部干擾對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。安裝位置應(yīng)便于操作和觀察,同時(shí)確保流體流動(dòng)穩(wěn)定,避免在管道的彎頭、閥門等流動(dòng)干擾處安裝。2.檢查流量計(jì)和管道在安裝前,檢查流量計(jì)的外觀是否完好,確認(rèn)型號(hào)、規(guī)格與系統(tǒng)要求相符。清潔管道內(nèi)部,避免雜質(zhì)和污垢影響流量計(jì)的性能。3.確定安裝方向根據(jù)...

  • 2025

    2-11

    一、氣體質(zhì)量流量控制器的維護(hù)保養(yǎng)氣體質(zhì)量流量控制器是一種精密儀器,為確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行和測(cè)量準(zhǔn)確性,需要進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)。以下是一些關(guān)鍵的維護(hù)保養(yǎng)技巧:定期清潔:使用干凈的軟布或棉簽輕輕擦拭儀器表面和傳感器部分,防止灰塵、油污等雜質(zhì)進(jìn)入儀器內(nèi)部影響其性能。注意避免使用腐蝕性清潔劑。定期拆開設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行雜物整理,并檢查是否有受損的零件。檢查連接部位:定期檢查氣體質(zhì)量流量控制器的連接部位,確保連接牢固、無泄漏。如果發(fā)現(xiàn)連接部位松動(dòng)或泄漏,應(yīng)及時(shí)擰緊或更換密封件。管道剛性檢查:檢...

  • 2025

    2-10

    層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)(MFC)的氣體兼容性更強(qiáng),主要得益于其工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。1.基于層流壓差原理,無需氣體特性依賴工作原理:層流壓差式MFC通過測(cè)量氣體在層流狀態(tài)下的壓差來計(jì)算流量。層流狀態(tài)下,氣體流動(dòng)呈線性,壓差與流量成正比,且與氣體種類無關(guān)。對(duì)比熱式MFC:熱式MFC依賴氣體的熱傳導(dǎo)特性(如比熱容、導(dǎo)熱系數(shù))來測(cè)量流量,不同氣體的熱特性差異較大,需針對(duì)每種氣體進(jìn)行標(biāo)定和轉(zhuǎn)換系數(shù)調(diào)整。而層流壓差式MFC無需考慮氣體熱特性,因此兼容性更強(qiáng)。2.無需轉(zhuǎn)換系數(shù),支持多氣體測(cè)量...

  • 2025

    1-23

    在工業(yè)生產(chǎn)和科研領(lǐng)域,氣體和液體流量的精準(zhǔn)測(cè)量與控制是保證工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。無論是化工、半導(dǎo)體、食品與飲料,還是生物制藥等行業(yè),流量計(jì)和流量控制器的作用都不可忽視。它們不僅確保了原材料的高效使用,還直接影響到生產(chǎn)效率、能源消耗以及最終產(chǎn)品的質(zhì)量。本文將深入探討流量計(jì)和流量控制器的工作原理、技術(shù)優(yōu)勢(shì)、以及在各大行業(yè)中的應(yīng)用,幫助讀者更好地理解這兩者如何推動(dòng)工業(yè)生產(chǎn)的智能化和高效化。流量計(jì)與流量控制器的基本原理1.流量計(jì)的工作原理流量計(jì)是一種用于測(cè)量流體流量的儀器。根據(jù)...

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